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针对波长0．53μm的毫秒脉冲激光辐照GaAs的表面热分解损伤问题，建立了二维轴对称热传导模型，在考虑材料的热物性参数随温度变化的基础上，采用有限元法模拟了材料的瞬态温度场，得到了温度场分布特征及其随时间的变化规律，给出了材料表面发生热分解损伤阚值曲线。数值结果表明：毫秒脉冲激光对GaAs作用时，热传导影响着激光作用全过程，对应的损伤机理主要为热损伤；在激光作用下，被作用表面中心处温度最高，并且首先发生热分解损伤；随着作用激光能量密度的增加，GaAs表面发生热分解损伤的时刻不断提前。