【摘 要】
：
全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代表的创新设计理念取代传统设计要求,是目前
【机 构】
：
东北大学机械工程与自动化学院; 上海卫星装备研究所; 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司; 海南金盘电气有限公司;
【基金项目】
：
教育部中央高校基本科研费(N160302001);国家科技重大专项(2017ZX02201005-001)
论文部分内容阅读
全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代表的创新设计理念取代传统设计要求,是目前真空干泵产品设计的主要趋势。本文提出了一种以多腔式涡旋结构为代表的新型结构,与传统涡旋真空泵结构不同,通过多涡旋的集成创新设计,得到多腔涡旋优化结构,具有高集成性和紧凑性的特点。论文以并联式涡旋盘结构展开讨论,基于涡旋啮合原理,分别建立了各涡旋转子的型线方程,通过分析抽气理论数学模型,对比了相同尺寸下,新型多腔结构与传统单腔结构的抽速、热变形、气体载荷分布等性能参数。以四腔结构为例,计算和分析结果表明,并联式新型多腔涡旋结构在提高抽速和获得均匀的气体载荷分布方面有明显的优势,在相同的外形参数下,抽速提高了48.95%,密封线长度减小了41.62%,且在相同的进排气口压强下,四腔涡旋盘最大变形量仅为单腔结构的51.22%。
其他文献
本文以中国传统书论为背景，以刘熙载的书法理论为研究对象。全文约三万字，主要包括三个部分： 绪言：刘熙载书法理论产生的历史背景的介绍。 第一部分：关于刘熙载的生平和著述
员工培训是开发现有人力资源和提高员工素质的基本途径之一。本文通过对某国际化工程公司的员工培训进行调研和数据分析,分析其培训过程中存在的问题,并就相关应对策略进行探
<正>"提壶揭盖"法在《中医大辞典》[1]解释为通过宣肺或升提以通利小便的一种借喻。该理论最早源于朱丹溪,在《名医类案》中载有其治疗医案:"一人小便不通……此积痰在肺,肺
社会保障房的建设主要是为了解决我国中低收入家庭的住房问题，在整个住房体系中占据重要的位置。然而，社会保障房由于其特有的性质，建设进度和建筑质量往往不尽如人意，因此保障房
成功举办的首届中国国际进口博览会成为世界博览史上的一大创举。其超短期的高效运作、创新性的举办模式、综合性的展会功能、卓越的展会成效和巨大的世界影响力,将对未来中
民办高职院校作为我国民办高等教育的一种办学形式,经过多年的发展,已成为我国高等教育的重要组成部分。而近年来民办高职院校在蓬勃发展的同时,也面临着一个非常严峻的现实,
<正>由中共中央党校、全国党建研究会和中共重庆市委联合主办的"纪念中国共产党成立90周年党建理论与实践研讨会",于6月6—8日在重庆举行。中共中央政治局委员、重庆市委书记
半导体集成电路(Semiconductor Integrated Circuit)是微纳制造领域的制高点；随着其特征尺度(Feature Scale)的日益缩小,在工艺加工过程中所面临的挑战也愈来愈严峻。作为不可
近年来,随着计算机网络的迅猛发展,千兆以太网已经成为主流的网络技术,随之而来的是对网络设备要求的提高。网络设备的性能将会直接影响到网络运行过程中的稳定性与可靠性,所
液滴微流控是微流控技术的一个重要的分支,对液滴的操控如液滴融合、裂分、混合、分选、捕获等技术具有非常重要的意义,液滴分选就是从大量液滴中分离出目标液滴,可以用来提