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扩散工艺是制作半导体的关键结构PN结的一种常用方法。本文在介绍了扩散的定义、扩散工艺在半导体生产过程中的作用原理和应用范围的基础上,从扩散工艺的工艺流程,扩散工艺在PN结形成中的作用,在半导体生产中扩散工艺方法以及扩散工艺的发展四个方面,探究了扩散工艺在半导体生产中的应用。
浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用
【摘 要】
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扩散工艺是制作半导体的关键结构PN结的一种常用方法。本文在介绍了扩散的定义、扩散工艺在半导体生产过程中的作用原理和应用范围的基础上,从扩散工艺的工艺流程,扩散工艺在
【机 构】
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深圳方正微电子有限公司
【出 处】
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电子制作
【发表日期】
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2017年15期
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