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分析了三氯氢硅生产中主要设备的结构及设置位置，并且对工艺部分存在的问题进行了改进。
三氯氢硅生产设备剖析
【摘 要】
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分析了三氯氢硅生产中主要设备的结构及设置位置，并且对工艺部分存在的问题进行了改进。
【机 构】
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江苏江东化工股份有限公司
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2009年9期
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