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[期刊论文] 作者：中野元雄,王秀春,
来源：微电子学 年份：1984
大规模集成电路(LSI)作为工业界不可缺少的重要基础材料正在不断地发展着。人们渴望在扩大需求量的同时能进一步实现器件的高性能化。并试图通过器件微细化来谋求提高集成度...
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