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[期刊论文] 作者：云攀攀,张文涛,王献英,
来源：仪器仪表用户 年份：2019
针对28nm浸没式扫描光刻机掩模台的光栅干涉仪位移测量系统,开展了系统热漂移研究,并进行了热漂移测试实验与结果分析。该位移测量系统采用外差对称式四细分的光路设计以及栅...
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