【摘 要】
：
针对28nm浸没式扫描光刻机掩模台的光栅干涉仪位移测量系统,开展了系统热漂移研究,并进行了热漂移测试实验与结果分析。该位移测量系统采用外差对称式四细分的光路设计以及栅
【机 构】
：
桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,上海微电子装备（集团）股份有限公司
【基金项目】
：
国家科技重大专项(02专项)子课题(No.2017ZX02101007-003),国家自然科学基金(61565004)
论文部分内容阅读
针对28nm浸没式扫描光刻机掩模台的光栅干涉仪位移测量系统,开展了系统热漂移研究,并进行了热漂移测试实验与结果分析。该位移测量系统采用外差对称式四细分的光路设计以及栅距为1μm的二维光栅,配合2048倍电子细分的相位计数卡,其系统分辨力达到了0.12nm。热漂移测试结果显示:该系统的热漂移X向为17.86nm/K,Y向为41.43nm/K。在光刻机掩模台的实际测量环境中,测量环境的温度波动稳定在5mK以内,此时系统的热漂移X向可以控制在0.09nm以内,Y向可以控制在0.21nm以内。实验数据表明系统的热
其他文献
"互联网+"时代的来临,给三甲医院档案管理的及时性、便捷性、灵活性提出了新的要求。为此,实现医院档案的信息化管理已是必然趋势。本文围绕某三甲医院档案管理工作展开分析,
辛有志终于复出了，一改昔日的张扬作派，出现在大众面前的是一个谦虚的主播。 在今年头3个月，“辛巴王朝”经历了至暗时刻。去年12月底，快手平台因“糖水燕窝事件”宣布封停辛有志个人账户60天。不过账户解封后的他却并没有着急归来，似乎在筹备些什么…… 辛巴王朝蒙羞的60天，辛有志几乎消失在了社交平台上。转眼来到了3月底，他又活跃起来。之前“315消费者维权日”当天他被央视“新闻1+1”点名，无疑给骄
就如何进行现场的安全管控进行研究。首先分析现场安全管理的特点和原则,然后对如何进行作业管理和人员管理进行分析。
爱国主义是一个民族的灵魂,是思想教育的基本内容,也是思想政治教育的核心和主题。新时代,分析高校思想政治教育中的爱国主义的时代特点及其科学的实现途径,有利于增进我国爱
运用气相色谱法,对皖南山区几种主要的能源树木种子的脂肪酸组成进行了分析研究。在此基础上,提出我省能源植物资源开发利用的思路。
随着我国基础教育改革的推进，我们的教育教学质量有了明显的提高，新形势下，为了实现优质高效的高中数学教学还需要教师不断的探索新的教学方法，转变教育教学观念。新课改改变的不
蜱是家畜体表一种重要的外寄生虫，不但吸食血液，引起家畜不安、疼痛，而且传播多种血液原虫和传染病，造成家畜大批死亡，对畜牧业危害极大。灭虫丁(阿维菌素Avermectin)是近年来新研
卫氏并殖吸虫囊蚴在流行区溪蟹眼肌内的发现常正山，张永年（中国预防医学科学院寄生虫病研究所）林荣泉，金黛英（上海市食品公司吴淞肉联厂）肺吸虫病是人畜共患寄生虫病，我国疫区多以卫
随着课改的不但深入，教育教学理念在逐渐的发生变化，各式各样教学的方法都被应用在各科教学中，高中生物教学也涌现了许多先进的教学模式。生物教学与生活实际相互结合是优化课堂
10月23日,首届中国(广西)—东盟现代种业发展大会暨第四届中国(南宁)鲜食玉米大会、第十七届广西“看禾选种”大会在南宁开幕。本次大会共有210个国内外企业参展,主要展示广