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[期刊论文] 作者：王豫生,阎建华,郑胜男,殷士端,张敬平,顾诠,代爱平,谢葆珍,刘士杰,
来源：核技术 年份：1987
本文介绍沟道-背散射分析的实验装置。用沟道-背散射方法进行了辐射损伤测定、表面组分分析、异质外延层的缺陷分析,得到了一些对半导体材料工艺、集成电路研制的有意义的结...
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