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[期刊论文] 作者:黄克铃,任晋成,孙少康,周荣祥,经文春,关安民,
来源:微细加工技术 年份:1991
国内引进了不少离子注入机,维修问题日渐重要。对其损坏部件,用国产配件进行替换,不乏为又快又省的维修方法。本文叙述了八年多来,我们在维修IM—200M型离子注入机的实践中,...
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