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[会议论文] 作者：余刚;赵芳红;张延芳;刘益环;,
来源：2009年全国玻璃科学技术年会 年份：2009
采用射频磁控溅射方法在石英玻璃基片上制备ITO薄膜，结合薄膜面电阻和微观结构，采用红外、紫外光谱特征分析薄膜的导电机理。结果表明：在相同氧分压下随温度升高紫外吸收波长向......
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