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[期刊论文] 作者：余国彬,
来源：理科爱好者（教育教学版） 年份：2004
在使用电脑一段时间后,就会感觉到Windows系统是越用越慢,这是个不争的事实.因此,使用Windows就免不了要重新安装系统.当然,重新安装系统并不难,但是安装完系统后你知道我们...
[期刊论文] 作者：余国彬,,
来源：读与写（上，下旬） 年份：2016
高中阶段开设信息技术课，一方面能够有效地促进学生的全面发展，另一方面也为学生以后更加有效的进行信息技术学科的学习奠定良好的基础。教师在对学生进行信息技术教学的过程中......
[期刊论文] 作者：余国彬,,
来源：快乐阅读 年份：2012
我国初中课程改革处处渗透着现代教育的新理念,体现着时代发展的新形势,从学生的健康成长、人才的培养、民族的前途和国家的发展需要出发。初中政治课在中国特色社会主义理论...
[学位论文] 作者：余国彬,
来源：中国科学院光电技术研究所 年份：2006
世界半导体业界受到不断进步的光学光刻技术的鼓舞，提高投影光学光刻系统的数值孔径可以满足对光刻图形的高分辨力需求。超大数值孔径和浸没式光刻技术的运用，而产生的光学偏振......
[期刊论文] 作者：余国彬,,
来源：中外交流 年份：2016
随着计算机技术和网络的发展,电脑上的游戏及娱乐软件也越来越多,许多学生喜欢玩电脑,却不喜欢上信息技术课.我们要究其原因,采取适当的措施,改变这一局面.对中学生来说,最好...
[期刊论文] 作者：余国彬,,
来源：读与写(教育教学刊) 年份：2009
我们在使用word时,对它的一些功能不是很了解,只能简单的用来处理,有时还会出了问题,不知怎样处理,本文介绍一些关于在使用wold时的部分常用技巧和方法,敬请大家批评指正....
[期刊论文] 作者：余国彬,,
来源：百科知识 年份：2020
从嫦娥奔月到"嫦娥工程"说起嫦娥奔月的故事,大家耳熟能详。相传,远古时候,天上有十日同时出现,晒得庄稼枯死,民不聊生,一位叫后羿的英雄同情受苦的百姓,拉开神弓,一气射下9个太阳,并严令最后一个太阳按时起落,为民造福。后羿因此受到百姓的尊敬和爱戴,还娶了美......
[期刊论文] 作者：余国彬,
来源：百科知识 年份：2020
从嫦娥奔月到“嫦娥工程” 说起嫦娥奔月的故事，大家耳熟能详。 相传，远古时候，天上有十日同时出现，晒得庄稼枯死，民不聊生，一位叫后羿的英雄同情受苦的百姓，拉开神弓，一气射下9个太阳，并严令最后一个太阳按时起落，为民造福。后羿因此受到百姓的尊敬和爱戴，还娶了美......
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,
来源：电子工业专用设备 年份：2000
近几年来微型机电系统（ＭＥＭＳ）的研究到了高速的发展，而ＭＥＭＳ的工艺基础是微细加工技术。针对电铸（ＬＩＧＡ）技术所存在的缺点提出了紫外光电铸（ＵＶ－ＬＩＧＡ）技术，并研制了用于ＵＶ－ＬＩＧＡ技术的光刻设备，其中介绍了整机的设计要......
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,等,
来源：电子工业专用设备 年份：2001
近年来，微型机电系统技术高速发展，对作为其基础技术的微细加工设备的需求也越来越大。重点讨论接近式深度光刻机的掩膜和硅片间的衍射，其中对掩膜与硅片间的夫琅和费衍射和菲涅......
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,等,
来源：微细加工技术 年份：2002
UV-LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理，它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射，并模拟数值计算了硅片表面的......
[期刊论文] 作者：佟军民,胡松,余国彬,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
介绍了下一代光刻技术的演变,重点描述了浸没式光刻技术、极端远紫外光刻技术、纳米压印光刻技术和无掩模光刻技术的基本原理、技术优势、技术难点以及研发,并展望了这几种光...
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,胡松,
来源：光电工程 年份：2002
生物芯片扫描仪是生物芯片能否得到广泛应用的关键仪器。在分析了激光共聚焦生物芯片 扫描仪的成像特性的基础上,详细地论述了生物芯片扫描仪的光强分布函数、光学信息量等光学特性,从而得出生物芯片扫描仪的高分辨力特性。为研制高精度、高分辨力的生物芯片扫......
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,胡松,
来源：电子工业专用设备 年份：2001
介绍了采用压力-真空平衡气足作支承、PTFE材料作导轨的工件台的组成,并对气足的设计计算进行了讨论.最后给出了所研究的工件台的检测结果....
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,胡松,
来源：微细加工技术 年份：2001
主要介绍投影光刻机工件台的压力－真空平衡气足设计，对压力－真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析，并给出了气足结构参数的优化设计。......
[期刊论文] 作者：佟军民,胡松,余国彬,,
来源：微细加工技术 年份：2007
为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台.该工件台由x-y二维整体手动工作台子系统、x-y二维掩模精密移动台子系统...
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,胡松,
来源：电子工业专用设备 年份：2001
:近年来 ,微型机电系统技术高速发展 ,对作为其基础技术的微细加工设备的需求也越来越大。重点讨论接近式深度光刻机的掩摸和硅片间的衍射 ,其中对掩模与硅片间的夫琅和费衍...
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,胡松,
来源：微细加工技术 年份：2002
UV -LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理 ,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射 ,并模拟数值计算了硅片表...
[期刊论文] 作者：余国彬,姚汉民,胡松,
来源：微细加工技术 年份：2004
主要介绍投影光刻机工件台的压力-真空平衡气足设计,对压力-真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析,并给出了气足结构参数的优化设计....
[会议论文] 作者：余国彬,姚汉民,胡松,
来源：第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2002
UV-LIGA技术吸收了集成电路光刻技术和LIGA技术的优点,利用UV-LIGA技术,在我们研制的UV-LIGA深度光刻设备上可将光刻图形转移到很厚的SU-8光刻胶上,获得较大的深宽比,从而解决了LIGA技术的光源问题.简要介绍了UV-LIGA技术工艺过程的特点和应用,以及平滑衍射技术......
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