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[期刊论文] 作者:周旭升,倪图强,程秀兰,, 来源:集成电路应用 年份:2008
本文介绍了铜镶嵌工艺中的低K电介质材料和电介质刻蚀/去胶技术,研究了In—Situ等离子体去胶对低K电介质材料损伤的问题并提出了最大限度地减少去胶损伤的方法。...
[会议论文] 作者:倪图强,俞书勤,聂循建, 来源:中国工程热物理学会全国第五届学术年会 年份:1985
[期刊论文] 作者:倪图强,聂绪建,俞书勤,孔繁敖, 来源:Science in China,Ser.B 年份:1988
The in situ, high spatial resolution, two-dimensional distributions of OH(X), C_2(X) and CH(X) radicals in premixed paraffin/air flames are first reported. The...
[期刊论文] 作者:倪图强,聂绪建,俞书勤,孔繁敖,, 来源:物理化学学报 年份:1987
通过对部份预混的富燃料液化石油气/空气火焰中各部份的C2(A~(3Π) X~(3Π)和CH(B~(2∑)←X~(2Π),(A~(2Δ)→X~(2Π))的激光诱导荧光信号进行逐点检测,首次获得了C_2(X)和CH...
[期刊论文] 作者:倪图强,聂绪建,俞书勤,孔繁敖,, 来源:物理化学学报 年份:1987
通过部份预混的富燃料液化石油气/空气火焰中各部份的OH(A~(2∑~+) X ~(2Π))的激光诱导荧光信号进行逐点检测,获得了OH(X)基在火焰中央纵剖面上精细的二维等浓度线图。OH(X)...
[期刊论文] 作者:倪图强,陆庆正,俞书勤,孔繁敖,, 来源:物理化学学报 年份:1987
通过193nm的ArF激光光解AsH_3,首次在420-650nm之间观察到了AsH_2(■2A_1→X 2B_1)的发射光谱。经过认证之后,获得了v=19928+868v′_2-3v′_2~2-(989v″_2-6v″_2~2)的经验公...
[期刊论文] 作者:倪图强,俞书勤,马兴孝,孔繁敖,, 来源:物理化学学报 年份:1987
在光强为10~6W cm~(-2)的ArF激光作用下,NH_3分子被光解为NH(A~(3Π))先后吸收两个193nm光予,经过NH_3( 1_A)和NH_2( A_1)两个中间物的过程。NH(A~(3Π)→X~(3∑~-))的发...
[期刊论文] 作者:倪图强,聂绪建,俞书勤,孔繁敖, 来源:中国科学(B辑 化学 生物学 农学 医学 地学) 年份:1987
本文通过对预混的,微富燃料的饱和烃/空气火焰中各部分的OH(A~2Σ~+←→X~2Π),C_2(A~3Π←→X~3Π)和CH(B~2Σ←X~2Π),(A~2Δ→X~2Π)的激光诱导荧光信号进行逐点检测,首次获得了OH(X),C_2(X)和CH(X)等自由基在火焰中央纵剖面上的二维等浓度线分布图。OH(X)基......
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