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[学位论文] 作者：卞亚魁,
来源： 年份：2017
在纳米技术领域,微球常被用作测量系统的测头。随着加工精度的不断提高,精密器件特征尺寸趋于微型化,要求测量系统中应用的微球球径越来越小,如微纳米三坐标测量机(Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,简称微纳米CMM)要求其测头探球球径在数百微米以内,且......
[期刊论文] 作者：袁钰,卞亚魁,陈晨,,
来源：工具技术 年份：2015
为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统。采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统。该系统利用机器...
[期刊论文] 作者：黄强先,胡小娟,卞亚魁,梅腱,张连生,陈丽娟,
来源：中国机械工程 年份：2016
根据目前微球球度测量技术的原理,首先将其分为接触式测量和非接触式测量,其中非接触测量主要分为光学图像测量法和激光干涉测量法,就此对国内外微球球度测量技术进行了介绍...
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