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[期刊论文] 作者:原田·望,孙志君, 来源:半导体光电 年份:1982
已经制成摄像区第二层电极为透明电极的帧转移CCD摄像器件。器件的像素数为512(垂直)×340(水平),电极腐蚀图形良好。制作过程中存在的一个问题是铟一锡一氧化物透明薄膜(ITO...
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