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[学位论文] 作者:吕向博,
来源:中国科学院大学 年份:2016
头戴显示器是将像源和光学系统组合后安装于眼镜或头盔上的小型目视系统,正逐渐从军事装备向民用设备发展,在工业、医疗以及教育等领域有着广泛的应用前景,有关的报道与成果层出......
[期刊论文] 作者:宋强,朱菁,王健,张方,吕向博,杨宝喜,黄惠杰,,
来源:光学学报 年份:2015
深紫外(DUV)光刻机照明系统普遍采用衍射光学元件(DOE)实现光瞳整形。根据光刻机的指标要求,衍射光学元件应具有高衍射效率和高均匀性的特点。传统的相位恢复算法如Gerchberg...
[会议论文] 作者:张方,朱菁,杨宝喜,胡小邦,王健,吕向博,黄惠杰,
来源:第十五届全国光学测试学术交流会 年份:2014
照明系统是光刻机中曝光系统的一个重要组成部分,其重要指标之一是照明均匀性,良好的照明均匀性是保证光刻机在大曝光场内获得均匀曝光线条宽度的必要条件.为了改善照明系统的照明均匀性,研究者提出了多种均匀化技术,诸如积分棒、衍射光学元件、微透镜阵列以及......
[期刊论文] 作者:吕向博,王振,魏张帆,李璟,杨宝喜,乔亚,路远,李登高,朱菁,黄,
来源:光学学报 年份:2020
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[期刊论文] 作者:吕向博,王振,魏张帆,李璟,杨宝喜,乔亚,路远,李登高,朱菁,黄惠杰,,
来源:光学学报 年份:2015
虚拟现实头戴显示器(HMD)的光学系统应具有较大的视场角和出瞳,同时应具有重量轻和厚度薄的特性,从而适应人体的佩戴需要。为了同时满足这些要求,详细描述了一种基于初级像差...
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