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[学位论文] 作者：吴娅静,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2008
多晶硅纳米膜作为一种新兴材料，在重掺杂条件下较普通多晶硅薄膜具有更优越的压阻特性，其在压力传感器中的应用却没有相关方面的研究报道。因此，本文在分析多晶硅纳米膜的电学及......
[期刊论文] 作者：刘晓为,李金锋,揣荣岩,施长治,陆学斌,吴娅静,,
来源：传感器与微系统 年份：2008
用低压化学气相淀积（LPCVD）法淀积了膜厚为60-250nm的多晶硅纳米薄膜，研究了膜厚和掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜电学特性的影响。结合扫描电镜（SEM）图片，在电阻率与电阻率温度系数测试......
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