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[期刊论文] 作者:周福虎,丁继洪,朱小燕,,
来源:安徽电子信息职业技术学院学报 年份:2016
为了消除EMCCD芯片背面平坦抛光光敏区的物理机械缺陷、可动电荷、硅表面界面不连续等产生的电荷态,降低器件暗电流和光电转换效率。采用带介质低能硼注入及激光退火工艺技术...
[期刊论文] 作者:简崇玺,姜楠,周福虎,高博,
来源:集成电路通讯 年份:2016
为解决带有氮化硅薄膜工艺的BJT与JFET兼容的双极型集成电路横向PNP管和纵向PNP管放大系数衰减的技术难点,对此类电路的工艺现状进行分析并对工艺途径进行优化改善,在淀积氮化...
[期刊论文] 作者:孙涛,姜楠,丁继洪,于航,周福虎,
来源:集成电路通讯 年份:2014
保护管电路是一种抗静电保护电路。采用多晶硅磷掺杂工艺,有效抑制了因多晶硅厚度减少引起的多晶硅电阻的调试问题,解决了保护管电路工艺中多晶硅掺杂的技术难点;通过优化退火工......
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