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[学位论文] 作者：姚黎为,
来源：华中科技大学 年份：2017
13.5 nm极紫外辐射被认为是最有前景的下一代半导体光刻光源，13.5 nm极紫外辐射产生于激光烧蚀锡等离子体，提高激光的转换效率、降低等离子体碎屑是光源的关键技术。等离子体的...
[期刊论文] 作者：姚黎为,王新兵,刘璐宁,左都罗,
来源：强激光与粒子束 年份：2016
使用一维辐射流体力学程序MULTI模拟了脉冲CO2激光烧蚀平面锡靶的过程,研究了脉冲宽度、峰值功率密度、靶材初始密度对锡等离子体电子密度、电子温度的时空分布的影响,并结合...
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