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[期刊论文] 作者：闫宝华,檀柏梅,刘玉岭,孙增标,申晓宁,张研,,
来源：微纳电子技术 年份：2009
通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对〈100〉晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na3PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制绒前Si片的...
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