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[期刊论文] 作者:张景基, 赖珍荃, 王震东, 钟双英, 王根水, 孙瑾兰,, 来源:江西科学 年份:2005
实验采用射频磁控溅射工艺,在较低的衬底温度(370℃)、纯Ar气氛中和在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用陶瓷靶Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)制备具有完全钙钛矿结构的多晶PZT(52/48)铁...
[期刊论文] 作者:张景基,赖珍荃,王震东,钟双英,王根水,孙瑾兰,褚君浩, 来源:江西科学 年份:2005
实验采用射频磁控溅射工艺,在较低的衬底温度(370℃)、纯Ar气氛中和在(111)Pt/Ti/S iO2/S i衬底上用陶瓷靶Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)制备具有完全钙钛矿结构的多晶PZT(52/48)...
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