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[期刊论文] 作者：张博闻,吴勇,杨甫,黄天纵,孟施旭,赵智鑫,
来源：材料保护 年份：2021
为了制备均匀的CVD铝化物涂层,应保证沉积室内前驱气体的流场分布的均匀性。采用计算流体力学方法对沉积室内的前驱流体流场进行了仿真研究,对比了装备A、B、C型3种布风装置的CVD沉积室内流场的变化;对比了将初始进气口平均流速v经验提升至其1.5,2.0,2.5,5.0倍......
[期刊论文] 作者：张博闻,吴勇,杨甫,夏思瑶,黄天纵,孟施旭,
来源：材料保护 年份：2022
CVD工艺在工业生产中得到广泛应用，但CVD产物却受到许多参数的影响，而这些参数的变化如何影响沉积质量则需要重复试验才能得出结论。在CVD领域中引入计算流体力学（CFD）方法来对CVD过程进行数值模拟研究可以达到有效降低研发成本、提高沉积效率等目的。简要介绍了计......
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