【摘 要】
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CVD工艺在工业生产中得到广泛应用，但CVD产物却受到许多参数的影响，而这些参数的变化如何影响沉积质量则需要重复试验才能得出结论。在CVD领域中引入计算流体力学（CFD）方法来对CVD过程进行数值模拟研究可以达到有效降低研发成本、提高沉积效率等目的。简要介绍了计算流体力学的概念；接着以ANSYS Fluent软件为例，简述了计算流体力学仿真分析的方法；最后分别综述了计算流体力学方法在建立CVD反应
【基金项目】
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国家重点研发计划“细长孔零件化学气相沉积涂覆关键技术示范应用”（2020YFB2010400）资助；
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CVD工艺在工业生产中得到广泛应用，但CVD产物却受到许多参数的影响，而这些参数的变化如何影响沉积质量则需要重复试验才能得出结论。在CVD领域中引入计算流体力学（CFD）方法来对CVD过程进行数值模拟研究可以达到有效降低研发成本、提高沉积效率等目的。简要介绍了计算流体力学的概念；接着以ANSYS Fluent软件为例，简述了计算流体力学仿真分析的方法；最后分别综述了计算流体力学方法在建立CVD反应的研究模型、CVD反应器结构改进以及CVD工艺优化等方面的应用。
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