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[学位论文] 作者:宋尔冬, 来源:哈尔滨工业大学 年份:2023
电流传感器广泛应用于电源监测、飞行器状态监测等行业或领域,在电流检测领域中有着重要地位和意义。随着科学技术的进一步发展,电流传感器将成为电动伺服系统状态监测的重要组成部分。本文针对电动伺服系统对电流传感器高精度、国产化的要求,提出了一种高精度......
[期刊论文] 作者:孙立凯,宋尔冬,徐兴烨, 来源:科技创新与应用 年份:2020
文章介绍了一种微小型磁矢量传感器设计。该传感器的检测单元包括两个磁敏感单元和一套信号处理系统。磁敏感单元采用MEMS技术制作,具有体积小、集成度高等特点。信号处理系...
[会议论文] 作者:李玉玲,宋尔冬,郑丽,陈婧, 来源:第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:2016
网格状电极制作是湿度敏感芯片制作工艺的难点.为了提高湿度敏感芯片的响应时间,要求网格状电极金属线条尺寸达到微米级.本文利用LOR/PMGI胶的特性,研究了PMGI双层胶图形化工...
[期刊论文] 作者:宫占江,孙立凯,毕佳宇,宋尔冬, 来源:科技创新与应用 年份:2022
文章介绍一种通过电容变化探测应变信号的传感器.该传感器主要通过改变电容极板间的面积来获得电容值的变化,从而测量应变量.为保证传感器在工作中有较大的电容值变化量,设计一种双电容结构,保证传感器的灵敏度,该传感器的检测单元包括一个动极板、两个定极板和......
[期刊论文] 作者:王亚彬,王晓光,郑丽,王成杨,宋尔冬,, 来源:微纳电子技术 年份:2015
提出了一种应用于硅-硅键合过程中表面激活的新方法,采用复合激活的方式,使预键合的硅片表面分别通过化学溶液激活和UV光激活相互结合的手段获得较高的表面态。经键合机预键...
[期刊论文] 作者:张林超, 李玉玲, 尚瑛琦, 宋尔冬, 马壮, 陈婧, 佟春, 来源:微纳电子技术 年份:2004
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