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[会议论文] 作者：尹颢;杨恒;鲍敏杭;沈绍群;,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
利用微机械加工制造技术(MEMS)制造集成的硅微机械三维加速度传感器,目前在全世界范围内都是研究的热点.这种类型加速度传感器广泛应用于微型卫星、汽车、机器人等各个领域....
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