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[期刊论文] 作者：刘庆纲,叶声华,清野慧,岗彻,
来源：计量学报 年份：1999
本文作者采用光学式角度传感器，制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜（ＡＦＭ），它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法，克服了以往测量方法对被测物体的尺寸、重量及扫描速......
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