【摘 要】
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本文作者采用光学式角度传感器，制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜（ＡＦＭ），它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法，克服了以往测量方法对被测物体的尺寸、重量及扫描速
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本文作者采用光学式角度传感器，制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜（ＡＦＭ），它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法，克服了以往测量方法对被测物体的尺寸、重量及扫描速度等的限制。
The author uses optical angle sensor to make a probe-driven AFM, which is different from the traditional AFM signal displacement measurement method, which overcomes the shortcomings of previous measurement methods on the size, Weight and scanning speed restrictions.
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