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[期刊论文] 作者：庄炳河,
来源：微细加工技术 年份：1991
本文介绍了我国自行研制的第一台生产实用型光栅扫描电子束曝光机的真空系统,包括系统设计、分子泵与离子泵的应用、全系统泵阀的可编程自动控制,以及为改善系统性能采取的一...
[期刊论文] 作者：周开宇,庄炳河,
来源：微细加工技术 年份：1992
本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。...
[期刊论文] 作者：何忠礼,吴军礼,庄炳河,
来源：东莞理工学院学报 年份：1999
本文分析了大型进口空压机因电网电压波动而停机问题的原因，提供了解决措施，并运用这一方法成功地解决了其它大型动力设备的非正常停机问题，产生了明显的经济效益。This paper......
[期刊论文] 作者：周开宇,庄炳河,吴永卫,
来源：微细加工技术 年份：1992
本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。In this paper, we report the application characteristics of LaB_6 cathode in ele...
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