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[会议论文] 作者：张鸿海;胡晓峰;范细秋;贺德建;刘胜;,
来源：2004年中国机械工程学会学术年会 年份：2004
本文介绍了一种新型的高效率、低成本的纳米结构制作方法--纳米压印光刻技术.该工艺不同于传统光刻工艺,它是通过阻蚀剂的物理变形而不是改变其化学特性来实现图形化.因此,其...
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