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[期刊论文] 作者:曹孟云,
来源:化工管理 年份:2021
在新时代背景下,中国经济正在不断快速发展,同时对各行业安全生产提出了更高的要求。化工产业在中国经济建设中起到了重要的支撑作用,但由于其特殊性,化工企业在生产过程中必...
[期刊论文] 作者:王智,王哲,曹孟云,
来源:集成电路应用 年份:2021
化学机械抛光CMP工艺是集成电路制造的核心技术,90%以上的高端CMP机台设备和抛光液、抛光垫等关键耗材均被国外供应商垄断。阐述CMP国产设备与大尺寸晶圆片生产线的有效结合,...
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