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[会议论文] 作者：李超;张建军;倪牮;曹宇;耿新华;赵颖;,
来源：中国可再生能源学会2011年学术年会 年份：2011
本文通过射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）技术制备非晶硅锗薄膜太阳电池。主要采用增大反应气体气压的方法，将沉积速率提高至3-4./s。在较高氢稀释结合较高功率的工艺条......
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