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[会议论文] 作者：杜国同[1]赵涧泽[2]刘远达[2]程轶[2]边继明[2]赵旺[3]孙景昌[3]马艳[3]张源涛[3]董鑫[3]张宝林[4]夏小川[1]梁红伟[2],
来源：第七届全国光子学学术会议 年份：2010
我们自行设计加工了ZnO生长专用MOCVD系统，该系统直接采用O2气为氧源，不引入其他元素，有利于n型、p型掺杂和载流子浓度的控制。为了克服DEZn预反应问题，该系统反应室安装了两个特......
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