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[会议论文] 作者：杨俊[1]易葵[2]杨明红[2]胡国行[2]崔辉[1]邵建达[2],
来源：上海市激光学会2013年学术年会 年份：2013
利用原子力显微镜观察熔石英酸洗形貌，结合二次离子质谱分析，研究了熔石英的再沉积层结构和抛光杂质分布。酸洗结果表面，熔石英亚表面存在两类划痕，分别为微米级划痕和纳米级......
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