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[会议论文] 作者：杨恒;尹颢;鲍敏杭;沈绍群;,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
硅各向异性湿法腐蚀是重要的微机械加工技术,传统的腐蚀技术在制造多层结构时遇到了较大的困难,而最近开发成功的无掩模腐蚀新技术是较好地解决了这一问题.与传统腐蚀技术不...
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