搜索筛选:
搜索耗时0.0963秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 46 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者:林大键,,
来源:光学工程 年份:1981
前言关于光学零件偏心公差计算方法,曾经提出用于午彗差公式来计算。但他只考虑到本征象差,并没有考虑到衍生象差的变化。即没有计及光学系统中某一面的球心偏离光轴,引...
[期刊论文] 作者:林大键,,
来源:光学工程 年份:1985
本文论述折射式望远光学系统在校正二级光谱上所存在的问题和折反射型物镜复消色差的可能性。并初步总结我国电影经纬仪的主光学系统实现复消色差基本方法,大型望远镜摄影物...
[期刊论文] 作者:林大键,,
来源:光学工程 年份:1979
本文论述傅里叶变换物镜的像差理论和设计方法,从像差理论上来论证实现光学系统前后焦面均校正像差的可能性,以及实现傅里叶变换的光学透镜应当采取的结构型式。文中例举了二...
[期刊论文] 作者:林大键,,
来源:光学工程 年份:1979
本文主要讨论变焦距光学系统的凸轮误差、各移动组焦距误差和安装位置误差对变焦距物镜光学像面位置稳定性的影响,以及如何调整移动组的起始位置使三个焦面位置一致。This...
[期刊论文] 作者:林大键,,
来源:光学工程 年份:1985
弹道相机主要用于测量飞行体的弹道轨迹,也用于校验其它光学电子学靶场测量设备。它属于高精度光学摄影测量设备。其工作基本原理是将被摄运动目标的一系列点象和天空基准恒...
[期刊论文] 作者:尹燕,林大键,,
来源:光学工程 年份:1989
本文叙述了适用于各种面形(球面、非球面、平面、非轴对称面)的共轴和非共轴光学系统的通用光线光路计算公式。这些公式均适用于计算机编程进行光学计算。This paper descr...
[期刊论文] 作者:林大键,尹燕,
来源:光电工程 年份:1995
叙述球象面光学物镜实现大视场高分辨率的基本概念和光学设计要点,并举例说明此种光学物镜有可能实现的象质...
[期刊论文] 作者:尹燕,林大键,
来源:光电工程 年份:1991
本文描述了一个非常规光学系统计算软件。光学系统可包括倾斜、偏心的球面和非球面。本文解决了一般非共轴光学系统初始数据建立问题,提供了光学系统图形显示,并对光线光路追...
[期刊论文] 作者:林大键,李展,
来源:光电工程 年份:1997
叙述亚微米投影光刻物镜光学设计要点:光刻分辨力R与波长λ、数值孔径NA的关系;光学系统双远心的构成方法;光刻物镜的象差校正优化设计中的需控目标值等问题。介绍一个亚微米i线投影......
[期刊论文] 作者:陈小刚,林大键,
来源:光电工程 年份:1993
本文介绍了模拟退火法的起源和发展,并着重就可以获得最低能量状态的退火方案进行了讨论,证明了一类随机矩阵的稳定分布都收敛于具有最低能态的分布。...
[期刊论文] 作者:林大键,李展,
来源:光学学报 年份:1995
叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足i线光刻所需的光学传递函数要求,讨论了光刻分辨率和数值孔径的关系。设计了一种新的双远心投......
[期刊论文] 作者:周明宝,林大键,
来源:光电工程 年份:1998
提出了一种基于双光路双波长相移干涉显微原理的DOE三维表面形貌测量的新方法,并建立了相应的测量系统。理论分析和测量结果表明,横向分辨率为0.5nm(NA=0.4),在整个纵向测量范围内重复测量精度优......
[期刊论文] 作者:周崇喜,林大键,
来源:光电工程 年份:1996
叙述了i-line光刻高均匀照明系统的均匀照明原理,以及其具有特殊面形、特殊结构、超光学表面的光学系统光能分布计算模拟的原理、方法。作为例子,用编写的程序计算模拟了我们近来设计......
[期刊论文] 作者:李良钰,林大键,
来源:强激光与粒子束 年份:1998
把变尺度法用于光学优化设计中,同时使用了“逃逸函数”技术,从而实现光学系统设计的全优化,在使用逃逸函数时,两个因子H和W的确定是能否“逃逸”优化“陷井”的关键。用这种技术借......
[期刊论文] 作者:周崇喜,林大键,
来源:光电工程 年份:1997
首先从光栅衍射理论出发导出衍射光学元件的色散公式,并进一步推导出用一种材料进行折/衍混合消色差望远物镜设计的公式。最后给出全折射型、一个混合型消色差和一个改进型消色......
[期刊论文] 作者:林大键,周崇喜,
来源:微细加工技术 年份:1999
叙述紫外均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件OPTENG,设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统,在照明面积为100mm×100mm范围内,照明光......
[期刊论文] 作者:陈旭南,林大键,
来源:微细加工技术 年份:1997
本文介绍了分步重复投影光刻的i线和g线投影光刻镜主要技术指标,设计要点,研制中解决的关键单元技术和设计试制结果。...
[期刊论文] 作者:周崇喜,林大键,
来源:微细加工技术 年份:1996
本文叙述了曝光照明系统的均匀照明原理及实现方法,并提出用计算模拟的方法研究曝光系统的光照分布情况,编制了相应的计算模拟程序,作为实例,给出了作者设计的两个典型的曝光系统......
[期刊论文] 作者:林大键,王伟建,,
来源:光学工程 年份:1978
本文叙述一个采用全息反射透镜(以下简称全息透镜)的紧凑的光学信息处理机。这个处理机是廉价的,并且只需要采用玻璃镜头的光学试验台的一半长度。本文叙述了全息透镜的制造...
[期刊论文] 作者:薛鸣球,林大键,,
来源:光学工程 年份:1979
本文讨论光学系统中前组初级像差(五种单色初级像差和二种初级色差)引起光栏座标和物面座标的改变,对其后组色差的影响——衍生高级色差理论。In this paper, we discuss t...
相关搜索: