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[会议论文] 作者：谢礼丽,步云英,
来源：第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份：1997
该文分析了影响红外探测器用蓝宝石窗口片质量参数的各种因素，对原有工艺进行了一系列改进，使窗口片质量参数达到预定要求，其中平行度达到：直径≤５ｍｍ，平行度≤３μｍ；直径３２ｍｍ，平行度≤１０μｍ；直径≤......
[会议论文] 作者：孙家龙,步云英,
来源：第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议 年份：1995
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[会议论文] 作者：步云英,孙家龙,
来源：第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份：1997
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[期刊论文] 作者：吕海涛,张维连,左燕,步云英,
来源：半导体技术 年份：2004
采用化学腐蚀-金相显微镜法和SEM法观察了CZ法生长的直径50mm的蓝宝石单晶中的位错缺陷.发现位错分布状况为中心较低、边缘较高,密度大约为104～10 5cm-2.在不同温度不同的试剂...
[会议论文] 作者：孙家龙,步云英,张玲,俞先华,
来源：第三届中国功能材料及其应用学术会议 年份：1998
采用直拉法制备了、1"-2"结构完整、透光性能好的高纯蓝宝石单晶，经切、磨、抛加工，制成在3～5μm波段使用的红外探测器用蓝宝石窗口片。主要质量参数为：（1）晶向偏离（0001），小于0．5°；（2）透......
[会议论文] 作者：步云英,于秉华,张旭,冯洪辉,阎少林,
来源：第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份：2003
本文对圆波导谐振腔和加载介质谐振腔进行了详细分析,提出了利用蓝宝石加载谐振腔测量微波表面电阻的一种新方法.由三个不同直径、相同高度的蓝宝石构成三个谐振器,对同一组...
[会议论文] 作者：孙家龙,韩有路,张玲,步云英,谢礼丽,
来源：第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：1999
通过改进ＣＶＤ的工艺条件，采用氢气抛光和有效地控制衬底自掺杂，采用硅烷低温热分解法，在２″蓝宝石衬底上实现了硅外延层的均匀淀积，制备了高阻近本征、结构完整硅膜厚度均匀的ＳＯＳ外延片，满......
[期刊论文] 作者：李伟,阎少林,路荣涛,何明,步云英,毕笃彦,
来源：南开大学学报：自然科学版 年份：2004
本文对介质谐振器法测量高温超导薄膜微波表面电阻的方法进行了详细的研究，并对测试系统的损耗提出了新的计算方法．由四个不同直径、相同高度的蓝宝石构成四个谐振器，对同一组铜......
[会议论文] 作者：孙家龙, 步云英, 张玲, 俞光华, 谢礼丽, 聂家琪,,
来源： 年份：1998
采用直拉法制备了1″-2″结构完整、透光性能好的高纯蓝宝石单晶,经切、磨、抛加工,制成在3～5μm波段使用的红外探测器用蓝宝石窗口片。主要质量参数为:(1)晶向偏离(0001)小于...
[会议论文] 作者：步云英,谢礼丽,张玲,孙德海,于秉华,王皎瑜,
来源：第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议 年份：2001
蓝宝石单晶是一种用途很广的晶体材料,还是一种很好的GaN蓝光光电器件的衬底材料,本文介绍了单晶生长制备工艺及衬底片的加工工艺....
[会议论文] 作者：孙家龙, 柴玉琦, 韩有路, 牛志强, 陈(岂页), 步云英,,
来源：首届中国功能材料及其应用学术会议论文集 年份：1992
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[会议论文] 作者：步云英,谢礼丽,于秉华,王皎瑜,苗福贺,皮宝林,
来源：第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2002
本文通过实验,对影响蓝宝石单晶衬底片的质量参数进行了进一步的研究,对单晶控制,切割技术,研磨工艺和抛光工艺进行改进,以期取得更好实用效果....
[会议论文] 作者：吕海涛,张维连,牛新环,张恩怀,孙军生,陈洪建,步云英,于秉华,王水凤,
来源：第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份：2003
利用扫描电镜(SEM)观察了蓝宝石衬底和外延GaN层的位错缺陷,探索了衬底中位错和外延层位错形成的关系.并使用原子力显微镜(AFM)技术观察了蓝宝石衬底与GaN外延层界面的形貌....
[会议论文] 作者：吕海涛,张维连,牛新环,张恩怀,孙军生,陈洪建,步云英,于秉华,王水凤,
来源：第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份：2003
利用扫描电镜(SEM)观察了蓝宝石衬底和外延GaN层的位错缺陷,探索了衬底中位错和外延层位错形成的关系.并使用原子力显微镜(AFM)技术观察了蓝宝石衬底与GaN外延层界面的形貌....
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