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[期刊论文] 作者：池龟护,喻德政,,
来源：半导体设备 年份：1984
VLSI和微细加工从晶体管向IC→LSI→VLSI的不断发展是维持现代电子学基础的产业革命,它带来了巨大的变革,所谓“半导体冲击”的影响是深远的。作为晶体管乃至VLSI的原料一硅...
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