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[期刊论文] 作者：河西敏雄,江涛,
来源：红外 年份：1996
国际光学工程师协会(SPIE)日本支部(Japan Chapter)是日本为加强与SPIE会员间的相互信息交流而设立的(1988年)。截止1995年6月,会员数已达423人,仅次于美国。1995年6月5～7日...
[会议论文] 作者：袁巨龙,河西敏雄,
来源：全国纳米科学与技术学术会议 年份：1994
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[会议论文] 作者：袁巨龙,河西敏雄,
来源：全国纳米科学与技术学术会议 年份：1994
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[期刊论文] 作者：袁巨龙,张如源,崔丽芬,河西敏雄,小林昭,
来源：仪器仪表学报 年份：1995
为了获得超平滑的石英晶体表面，本文讨论了超精密抛光中材料的去除机理，提出了微小表面粗糙度的基本形成模型。实验采用软质磨料微粉和软质沥青抛光盘，加工出表面粗糙度为１～２的石英......
[期刊论文] 作者：袁巨龙,崔丽芬,张如源,河西敏雄,小林昭,
来源：仪器仪表学报 年份：1995
为获得蓝室石单晶的镜面，本研究讨论了抛光过程中化学机械抛光的必备条件，并提出了相应的抛光机理。在新的抛光条件下获得了最终表面粗糙度为２ｎｍ的蓝宝石单晶表面。...
[会议论文] 作者：袁巨龙,沈中伟,刘盛辉,邢彤,河西敏雄,
来源：2000年全国切削刀具技术学术研讨会 年份：2000
修正环型抛光机用于超精密平面抛光,并对沥青抛光进行了运动学分析.基于得到的方程式,发现在相同条件下,计算出的抛光量和平面度与60mm直径玻璃贺板工件的实验值非常一致.提...
[会议论文] 作者：戴宝泉,土肥俊郎,松尾政弘,河西敏雄,李华,,
来源：机械技术史 年份：2002
1.前言研磨是人类动手操作的最古老的加工方法,也是那个时代的尖端性的技术,并且到现在为止它与其他领域的技术共同被继承下来。作为半导体基板抛光技术和平坦化 CMP 的象征...
[期刊论文] 作者：沈中伟,袁巨龙,刘盛辉,邢彤,河西敏雄,小林昭,
来源：浙江工业大学学报 年份：2001
修正环型抛光机用于超精密平面抛光 ,并对沥青抛光进行了运动学分析。基于得到的方程式 ,发现在相同条件下 ,计算出的抛光量和平面度与 60mm直径的玻璃圆板工件的实验值非常...
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