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[学位论文] 作者：洪培真,
来源：北京大学 年份：2011
论文从精度上讨论了微机械陀螺的发展，分析了微机械陀螺工艺研究对提高陀螺性能的重要作用。介绍了目前微机械陀螺的三种工艺，分析了基于SOG技术的微机械陀螺工艺目前存在的问......
[期刊论文] 作者：张琴,洪培真,崔虎山,卢一泓,贾宬,钟汇才,,
来源：微纳电子技术 年份：2014
提出了一种用于亚微米尺寸以下MOSFET器件的自对准源漏接触技术。这种新型的集成方法改变了传统的工艺步骤,即光刻接触孔,然后向里填充导电材料。在形成栅极、绝缘介质侧墙以...
Impact of continuing scaling on the device performance of 3D cylindrical junction-less charge trappi
[期刊论文] 作者：李新开,霍宗亮,靳磊,姜丹丹,洪培真,徐强,唐兆云,李春龙,叶甜春,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2015
This work presents a comprehensive analysis of 3D cylindrical junction-less charge trapping memory device performance regarding continuous scaling of the struct...
[期刊论文] 作者：许淼,殷华湘,朱慧珑,马小龙,徐唯佳,张永奎,赵治国,罗军,杨红,李春龙,孟令款,洪培真,项金娟,高建峰,徐强,熊文娟,王大海,李俊峰,赵超,陈大鹏,杨士宁,叶甜春,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2015
Sub-20 nm node bulk FinFET PMOS devices with an all-last high-k/metal gate(HK/MG) process are fabricated and the influence of a series of device parameters on t...
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