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[会议论文] 作者：潘宏菽;商庆杰;默江辉;马杰;秘瑕;付兴昌;,
来源：2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份：2013
在半导体芯片加工方面,目前还没有实用可控的SiC湿法腐蚀方法,开发的SiC微波器件和电力电子器件等工艺的腐蚀都是采用等离子体刻蚀的干法技术,刻蚀台阶形貌的控制成为影...
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