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[会议论文] 作者：王蔚;刘晓为;王喜莲;鲍志勇;,
来源：第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会 年份：2005
为解决硅基PZT厚膜在作为压电驱动元件时的MEMS兼容性问题,采用丝网印刷方法分别制作了以SiO2,Si3N4,和Pt-Ti/SiO2作为隔离层的硅基PZT厚膜样品,对烧结引起的PZT/隔离层/Si之...
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