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[期刊论文] 作者:祝土富,沈丽如,, 来源:真空 年份:2007
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜。本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在...
[期刊论文] 作者:祝土富,沈丽如,徐桂东,金凡亚,, 来源:航空精密制造技术 年份:2008
采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在硅片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜。检测结果表明,膜中存在着微米级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3键的含量为62.23%。所制备的...
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