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[期刊论文] 作者：惠恒荣,箸玉辉,
来源：电子科技大学学报 年份：1990
本文制备了六种不同结构的 α-Si:H 多层膜结构,对其切面进行了扫描电镜观察分析.结果表明:辉光法生长 α-Si:H 膜过程中存在沉积和刻蚀一对对抗性矛盾,在常规工艺下各层界面...
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