搜索筛选:
搜索耗时0.0750秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：武艳青,车相辉,张磊,赵润,曹晨涛,董风鑫,
来源：半导体技术 年份：2021
设计了一种1550 nm波长分布反馈(DFB)激光器芯片,分析了有源区材料和波导结构对芯片参数的影响.分析了影响输出功率和相对强度噪声(RIN)的因素,并进行了实验对比.通过对芯片...
[期刊论文] 作者：武艳青,张奇,车相辉,于峰涛,姚文港,董风鑫,
来源：电子工艺技术 年份：2021
制备SiO2腐蚀溶液BOE,对SiO2湿法腐蚀速率和腐蚀形貌进行了剖析.首先分析了光刻工艺对SiO2薄膜纵向和横向腐蚀速率以及侧壁腐蚀形貌的影响,其次对SiO2侧壁腐蚀形貌的形成原理进行分析,并给出了侧壁形貌控制方法.试验结果表明,光刻胶掩模与SiO2膜层之间的附着性......
相关搜索：
