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[期刊论文] 作者：卢豫曾,蒋保运,
来源：电子科技大学学报 年份：1990
用气相法成功地研制出了 SnO_2超微粒子气敏膜。研究了0.03乇到0.1乇范围内不同氧分压下制得的超微粒子薄膜的酒敏特性和湿敏特性与成膜工艺、工作温度等关系。...
[期刊论文] 作者：卢豫曾,蒋保运,
来源：电子科技大学学报 年份：1990
本文探索了一种能用于大规模 MOS 集成电路的栅氧化技术—补充后的两步 TCE法。笔者采用该法,在一般工厂的工艺条件下,制得了90%以上的 MOS 电容,击穿电场大于6MV/cm,可动电...
[期刊论文] 作者：蒋保运,刘心妍,
来源：成都电讯工程学院学报 年份：1985
本文对总厚度为700—1000埃的铬膜及氧化铬膜的气体等离子体腐蚀工艺进行了实验研究。实验采用两种气体等离子体得到了不同射频功率及气压下的腐蚀速率,给出了最佳腐蚀条件。...
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