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[期刊论文] 作者：藤塚德夫,江涛,
来源：红外 年份：2001
研制出了16×16像元的单片热释电红外图像传感器.该图像传感器的特征是:利用电子溅射法制作PVDF热释电膜,利用埋沟MOSFET制作低噪声探测器,利用微机械加工制作由四条横梁...
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