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[期刊论文] 作者：西村薰,姜勇,
来源：真空 年份：1985
本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声等方面都得到了等于或超过以前的结果。新型......
[期刊论文] 作者：西村薰, 成田潔, 鹿野良孝, 冈村法郎, 姜勇,,
来源：真空 年份：1985
本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声等方面都得到了等于或超过以前的结果。新型......
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