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[期刊论文] 作者:解沛轩,,
来源:中国集成电路 年份:2013
3 2012年ITRS新内容——技术工作组总结3.1系统驱动与设计表3为主要产品市场以及对系统驱动的影响。表4为总体设计技术的挑战。3.2测试及测试设备2012年路线图测试列表中没有...
[期刊论文] 作者:郭新军,解沛轩,,
来源:中国集成电路 年份:2014
3.15提高成品率根据2011年版路线图重新划定的章节范围,“提高成品率”一章目前包括“晶圆环境与污染控制”(WECC)和“鉴定、检测和分析”(CIA)两个子章节。因此,提高成品率...
[期刊论文] 作者:解沛轩(译),郭新军(校),
来源:中国集成电路 年份:2013
2012年路线图测试列表中没有重大改动,但增加了一些参数,并对表格进行了一些调整:...
[期刊论文] 作者:郭新军(译),解沛轩(校),
来源:中国集成电路 年份:2014
3.15提高成品率根据2011年版路线图重新划定的章节范围,“提高成品率”一章目前包括“晶圆环境与污染控制”(WECC)和“鉴定、检测和分析”(CIA)两个子章节。因此,提高成品率的活动都......
[期刊论文] 作者:郭新军(译),解沛轩(校),
来源:中国集成电路 年份:2013
国际半导体技术发展路线图(The International Technology Roadmap for Semiconductors,ITRS)自1999年第1版问世后,每偶数年份更新,每奇数年份进行全面修订.ITRS的目标是提供被...
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