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[期刊论文] 作者:赵政,丁建宁,许路宁,
来源:机械制造 年份:2005
介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程,同时对扫描探针显微镜中最常用的两种:STM、AFM作了原理和结构介绍,最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。...
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