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[期刊论文] 作者：毛继禹, 王旭, 谷钟翔, 陈波, 王超,,
来源：科技创新与应用 年份：2018
目前，TFT行业8.5代线工厂中，CF基板微观缺陷的在线检出主要依靠AOI设备。AOI设备的原理：通过数量巨大的LineCCD对基板进行拍照，然后AOIPC通过生成的灰度图像依据5点法对基板各点...
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