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[期刊论文] 作者：车啸婷,贾治森,王振宇,管轶华,郜晚蕾,金庆辉,,
来源：微纳电子技术 年份：2021
设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳......
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